隨著電子、化工行業(yè)的飛迅發(fā)展,對產(chǎn)品純度的要求日益提高,而生產(chǎn)、加工環(huán)境的潔凈度直接影響著產(chǎn)品的純度.潔凈室的發(fā)展，對產(chǎn)品純度要求極高的多晶硅行業(yè)的發(fā)展與興起使得潔凈室更充分的應(yīng)用于化工領(lǐng)域。下面介紹一下多晶硅生產(chǎn)凈化車間潔凈室裝修設(shè)計及施工方法。

　　一、多晶硅生產(chǎn)凈化車間潔凈室裝修設(shè)計

　　1、潔凈室凈化原理

　　1.1、凈化程序 氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機送風(fēng)→通風(fēng)管道→高效過濾器→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆?！仫L(fēng)百葉窗→初效凈化。重復(fù)以上過程，即可達(dá)到凈化目的。

　　2、凈化參數(shù)

　　1) 換氣參數(shù) 100000≧15次，1000≧30次

　　2) 壓差 主車間相鄰房間≧5Pa

　　3) 溫度 冬季﹥16℃±2℃ 夏季﹤26℃±2℃

　　4) 濕度 45%～65%

　　5) 噪聲≤65Db(A)

　　6) 新風(fēng)補風(fēng)量為總風(fēng)量的10%～30%

　　潔凈技術(shù)需要有潔凈廠房和潔凈設(shè)備來支撐，潔凈室是潔凈廠房的核心。

　　潔凈廠房是指生產(chǎn)工藝有空氣潔凈要求的廠房。潔凈廠房是一個系統(tǒng)工程，它由空調(diào)機、供熱、供冷、送回風(fēng)管、過濾、自控等系統(tǒng)組成。潔凈級別要求高的，還有風(fēng)機過濾單元(FFU)、局部層流罩、墻板、地面組成。

　　3、潔凈廠房的結(jié)構(gòu)材料

　　1) 凈化廠房墻、頂板采用75mm厚的夾芯彩鋼板制造，其特點為美觀、剛性強。.

　　2) 圓弧墻角、門等采用專用氧化鋁型材制造。

　　3) 地面采用環(huán)氧自流坪，保證潔凈室潔凈度。

　　4) 送回風(fēng)管采用熱鍍鋅鋼板制作。

　　5) 高效送風(fēng)采用不銹鋼框架，美觀清潔;沖網(wǎng)板采用烤漆鋁板，不生銹、不產(chǎn)塵、易清潔。

　　二、多晶硅生產(chǎn)凈化車間潔凈室裝修施工工法

　　1、施工流程

　　施工流程遵循先有塵后無塵、先上后下的原則。具體施工順序如下：

　　施工準(zhǔn)備→測量放線→二次排版→材料加工→可調(diào)節(jié)吊桿安裝→槽鋁安裝→壁板安裝→T型鋁安裝→頂板安裝→彩鋼板調(diào)平并固定→門窗安裝→陰陽角安裝→風(fēng)口安裝→燈具安裝→地面施工→過濾器安裝→硅膠密封→保護膜拆除→清潔→潔凈度檢測→竣工驗收。

　　2、材料及施工機具

　　潔凈室壁板及頂板要求防靜電、耐腐蝕、易清潔、不產(chǎn)塵、不集塵、接縫少，根據(jù)工藝要求不同采用不同材質(zhì)的彩鋼夾芯板，一般有阻燃自熄聚苯乙烯板、聚氨酯材料、石膏板、巖棉板、紙蜂窩板、鋁蜂窩板等。厚度一般50mm~80mm不等.地面裝飾材料要求具有良好的耐磨性能、防滑、防靜電、耐腐蝕、易清潔、不易起塵開裂、二次施工簡便、接縫少或無接縫。潔凈室常用的裝飾材料有嵌銅條水磨石地面、環(huán)氧自流平地面、防靜電PVC地板和聚氯乙烯軟板等。